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光學(xué)粗糙度儀工作原理

日期:2025-02-05 13:54
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摘要:
光學(xué)粗糙度儀工作原理
      針描法又稱觸針?lè)?。?dāng)觸針直接在工件被測(cè)表面上輕輕劃過(guò)時(shí),由于被測(cè)表面輪廓峰谷起伏, 觸針將在垂直于被測(cè)輪廓表面方向上產(chǎn)生上下移動(dòng),把這種移動(dòng)通過(guò)電子裝置把信號(hào)加以放大, 然后通過(guò)指零表或其它輸出裝置將有關(guān)粗糙度的數(shù)據(jù)或圖形輸出來(lái)。
      光學(xué)粗糙度儀采用針描法原理的表面光學(xué)粗糙度儀由傳感器、驅(qū)動(dòng)器、指零表、記錄器和電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一,其工作原理見圖2,在傳感器測(cè)桿的一端裝有金剛石觸針,觸針尖 端曲率半徑r很小,測(cè)量時(shí)將觸針搭在工件上,與被測(cè)表面垂直接觸,利用驅(qū)動(dòng)器以一定的 速度拖動(dòng)傳感器。由于被測(cè)表面輪廓峰谷起伏,觸狀在被測(cè)表面滑行時(shí),將產(chǎn)生上下移動(dòng)。此運(yùn)動(dòng)經(jīng)支點(diǎn)使磁芯同步地上下運(yùn)動(dòng),從而使包圍在磁芯外面的兩個(gè)差動(dòng)電感線圈的電感量發(fā)生變化。圖3為儀器的工作原理主框圖。傳感器的線圈與測(cè)量線路是直接接入平衡電橋的,線圈電感量的變化使電橋失 去平衡,于是就輸出一個(gè)和觸針上下的位移量成正比的信號(hào),經(jīng)電子裝置將這一微弱電量的變化放大、 相敏檢波后,獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號(hào)。此后,將信號(hào)分成三路:一路加到指零表上, 以表示觸針的位置,一路輸至直流功率放大器,放大后推動(dòng)記錄器進(jìn)行記錄;另一路經(jīng)濾波和平均表放大 器放大之后,進(jìn)入積分計(jì)算器,進(jìn)行積分計(jì)算,即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值。

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